半導(dǎo)體廠送風(fēng)系統(tǒng)工程設(shè)計原則

    環(huán)境穩(wěn)定性：確保生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)溫度、濕度和潔凈度恒定，減少環(huán)境因素對半導(dǎo)體器件生產(chǎn)的影響。

    系統(tǒng)可靠性：送風(fēng)系統(tǒng)需具備高可靠性，以降低系統(tǒng)故障對生產(chǎn)的影響。

    節(jié)能減排：在保證生產(chǎn)環(huán)境的前提下，盡可能降低能耗，減少對環(huán)境的影響。

    智能化管理：利用現(xiàn)代自動化控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的智能化管理。