半導體廠送風系統工程設計原則

    環境穩定性：確保生產區域內溫度、濕度和潔凈度恒定，減少環境因素對半導體器件生產的影響。

    系統可靠性：送風系統需具備高可靠性，以降低系統故障對生產的影響。

    節能減排：在保證生產環境的前提下，盡可能降低能耗，減少對環境的影響。

    智能化管理：利用現代自動化控制技術，實現系統的智能化管理。